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低氘水纯化设备主要有蒸馏、电解、化学交换叁种工艺。蒸馏法借沸点差异分离，电解法凭电极反应速率不同制得，化学交换法靠催化反应转移氘。实际中常结合多法，还会监测氘含量以保障产物质量。

贰笔级精馏装置是生产电子特气的核心设备，通过精密精馏提纯，使气体纯度达 99.999% 以上，满足半导体需求

搪瓷精馏装置是结合搪瓷防腐与精馏工艺的设备，核心部件带搪瓷层，耐酸、碱、有机溶剂（除氟化物），表面洁净，适用于医药、精细化工等领域分离强腐蚀性物料。但搪瓷层脆性大，忌冲击和骤温。

多管精馏塔是高效分离设备，含多根平行塔管，内装填料或塔板。通过气液在管内逆向接触传质，实现混合物分离。适用于大规模生产，效率高、能耗低，广泛应用于化工、石化、制药等领域，可分离沸点相近或复杂组分混合物。

搪瓷精馏塔是一种耐腐蚀的传质设备，以金属为基体，内壁涂覆耐高温、耐化学腐蚀的搪瓷层。 其利用混合物中各组分挥发度差异，通过塔内填料或塔板实现气液传质，达到分离提纯目的。 适用于化工、制药等领域处理酸性或腐蚀性物料，兼具金属强度与非金属耐腐蚀性，但需避免剧烈冲击以防搪瓷层破损。

叁塔连续精馏装置是化工高效分离的核心设备，在咔唑提纯中作用显著。它由前馏分塔、中间馏分塔和产物塔串联而成：前馏分塔先分离轻组分；中间馏分塔在负压下深化分离；产物塔则在高真空下提取高沸点目标组分，获高纯度产物。装置采用连续化操作，结合 PLC 系统精准调控压力、温度、流量等参数，既提高生产效率，又降低能耗，保障分离高效稳定。